技术参数：
清洗篮尺寸：L610 x W560 x H100(mm)x2 层
稀释液箱容量：60L
浓缩液箱容量：30L
暂存喷淋液箱容量：18L
清洗时间 ：10~20min（0~99min可调节） 建议
漂洗时间 ：1~3min/次（0~10min可调节） 建议
干燥时间 ：15~30min（0~60min可调节） 建议
漂洗次数：3~5次（1~59次可调节） 建议
清洗液温度：室温~75℃
漂洗DI水温度：室温~60℃ 手动状态下
烘干温度：室温~99℃
稀释液箱加热功率：9KW
暂存喷淋液箱加热功率：6KW
干燥加热功率：7.5KW
电阻率测试范围：0~18MΩ
喷淋泵：4KW
隔膜泵：1吋
喷射压力：30~80PSI
清洗液过滤：0.2um
DI水过滤：0.2um
排气口尺寸：φ100XH30(mm)
电源/气源：AC380V,50/60HZ,65A /0.5~0.7Mpa
机器尺寸：L1300xW1200xH1850（mm）
